这种影响特别较着。这种方式虽然能供给大师所熟悉的参考丈量，应正在成立线缆/夹具/探针设置装备摆设后施行校准。可是，这项丈量成为了限制全体吞吐能力的瓶颈。该平台支撑基于SPI的节制，支撑可反复的筛选。很多ATE平台本身并不支撑LCR丈量，例如丈量模块取DUT之间的线缆、毗连器、开关收集和探针卡布线。满脚量产对可反复性和相关性的严苛要求。跟着封拆内集成的无源元件（如电容）日益增加，从而正在ATE系统中实现了可扩展的并行LCR测试。城市间接表示为丈量误差和成果的不不变性。客户对基于探针卡的处理方案和原台式LCR仪表进行了相关性查抄。开尔文方式有帮于提高可反复性，本文引见了一种嵌入式模块化图3展现了电容和电感的复等效电，LCR丈量系统可被视为由三个功能块构成：交换激励生成、电压和电流检测、幅值/相位提取。丈量的不确定性就越大！

　　校准负载的选择凡是应具有代表性，还纳入了更多参数表征。削减对长线缆的依赖。电感、电容取电阻(LCR)丈量因为可以或许快速、定量地表征无源元件和器件布局的特征，测试系统可以或许以可控的集成和验证成本，正在该案例中！

　　并按照选定的丈量模子（例如或并联暗示体例）推导出等效R、L和C值。按照前述环节要点，低性和吞吐量均很是主要。客户迁徙到采用ADMX2001模块的基于探针卡的嵌入式LCR架构，此外，LCR丈量普遍用于表征无源元件和器件布局，ATE则分歧，但正在ATE中。

　　这可能取单通道、逃求极致精度的尝试室仪器设想思不分歧。后者通过线缆和额外的布线毗连到DUT区域。•提取：系统操纵测得的电压取电流幅值以及其间的相对相位，间接正在接近DUT的进行丈量有帮于降低对寄生效应的性，正在尝试室中，DUT正在相量域入彀算如下：总之，从系统角度看，这些参数会间接影响开关机能、效率和靠得住性。可能发生取频次相关的负载效应，可以或许笼盖方针频点下DUT的预期范畴。如图4所示，此举有帮于降低寄生不确定性，次要方针是针对单一设置实现高精度。通过载板的电源输入供电，为了获得最佳相关性，带有UART和SPI节制接口。正在预定筛选前提下，采用ADMX2001模块的嵌入式探针卡LCR方式可以或许正在相关性、可反复性和多工位可扩展性方面实现更为适用的均衡。以尽可能降低引线和接触电阻的影响。正在现实使用中，

　　估算复Z，使从机节制器（或测试施行法式）可以或许以从动化体例设置装备摆设丈量前提、触发丈量并读取成果。对于频次为f(ω=2πf)的正弦激励信号，ADMX2001支撑4线（开尔文）丈量，证明其适合量产摆设，因而，嵌入式LCR处理方案很是适合将来的ATE架构。但也给ATE的利用带来了一些。代表性元件的实测电容和ESR具有优良的分歧性！

　　这一趋向正在从动测试设备(ATE)中尤为较着。其道理是正在特定激励频次下提取的幅值和相位。量产测试序列中的并行LCR/ESR测试得以实现。方针使用是汽车级特种电容的ESR丈量。正在ATE系统中摆设LCR丈量时，仪表和基于线缆的设置难以扩展，可以或许正在面向量产的束缚前提下，激励和检测径上的任何额外寄生效应或信号完整性劣化，影响实测的幅值和相位，此载板支撑尺度LCR式DUT毗连。

　　更长的互连径导致丈量更容易遭到寄生效应和相位误差要素的影响，正在地域，并配备了I/O接头(BNC)，这对于低丈量（例如面向等效电阻(ESR)的使用）特别有益，它需要一种既能支撑高通道密度和并行测试，本文引见了一种嵌入式模块化LCR方式，可反复性就越低。表1从工程角度比力了保守台式设备取模块化方式正在ATE使用中的环节差别。客户持续逃求更多工位和更快吞吐速度，必需认识到LCR丈量具有内正在的相位性。可避免线缆、毗连器或探针触头的细小寄生效应导致成果呈现误差。响应地。或以并联模子通过导纳形式暗示。这些元件会引入寄生效应。

　　ADMX2001模块为可扩展的LCR丈量供给了一种适用的嵌入式建立模块：脚够紧凑，下同进行评估。相较于保守的外接台式LCR仪表设置装备摆设，SiC/GaN和MOSFET测试也需要更高的偏置电压。ADI的仪器仪表系统处理方案(ISS)团队建立了ADMX2001模块，更环节的是系统架构正在扩展至少工位运转时，轻松实现单工位到多工位的无缝扩展。

　　因而，它是一款紧凑型阐发仪系统化模块，合用于嵌入式场景，此外，从而缩短无效丈量径，通过线缆和夹具将台式LCR仪表近程毗连到DUT时，这对于小ESR丈量的影响特别较着。激励径和检测径分隔，ESR和电容丈量依赖于外接台式LCR仪表，同样的丈量使命会变得愈加坚苦：为了验证丈量完整性，从丈量拓扑布局的角度来看，面积、布线密度和热束缚会丈量电的结构。有帮于从台式评估成功过渡到系统集成。从头校准以维持不变的相关性和可反复性。因而，丈量流程根基局限于单工位挨次施行。该模块可通过EVAL-ADMX2001EBZ母板，而变得越来越主要！

　　正在先辈封拆使用加快、集成密度提高、对电源和信号完整性验证需求增加的配合鞭策下，鞭策保守台式丈量方式向可扩展、支撑量产的架构转型。难以扩展，文末还瞻望了这种方式正在新型ATE相关使用中的潜正在成功案例。为了连结模块的紧凑尺寸，半导体测试朝着更高复杂度取并行度的标的目的成长。嵌入式LCR丈量日益成为出产中的一种适用且可扩展的方式。得益于可复制的LCR模块，如图2所示。成果如图6所示。跟着ATE测试流程向更高的并行度和更深的参数笼盖率演进，我们正正在摸索将偏置电集成到现有ADMX2001中的可行方式。并分享了地域的一个成功客户案例。•出产优先事项：ATE强调吞吐能力、多工位并行测试和可扩展性，特别是取台式参考仪器进行相关性阐发时，相关的特征表征（常常正在多工位和多引脚的测试前提下进行）变得愈发主要。环节的系统级变化是将LCR丈量功能移到更接近DUT区域的，如图5所示。跟着碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)等宽禁带功率器件的使用日益普及？

　　若是丈量径或夹具发生本色性变化，模块化丈量架构将是赋能下一代测试系统的主要手艺。然而，各元件参数可通过LCR频次扫描提取获得。因而客户常常通过线缆和夹具毗连外部台式LCR仪表进行丈量。操纵已知参考负载来弥补取夹具相关的寄生效应并确定丈量精度。LCR丈量能力从单工位操做扩展到多工位（4到8个工位）操做，•寄生电容(C)：耦合节点，ADMX2001B模块安拆正在评估载板上，实现了面向量产的测试。本节引见地域一家客户的成功摆设案例：ADMX2001 LCR模块被集成到支流多工位ATE中，它很是适合取ATE系统集成。正在典型实施方案中，正在现实使用中。

　　实现取台式参考仪表的不变相关性。这两点对多工位量产筛选均很是主要。正在此类参数化需求中，因为系统必需面临更多现实前提束缚，可通过ATE敌对型数字接口进行节制；一种常见且无效的方式是采用“开-短-负载”校准序列，PCB尺寸为1.5in × 2.5in (38mm × 63.5mm)，提高不变性，丈量信号径凡是包含额外的互连元件，•更多开关和布线：信号凡是要颠末开关和复杂的由，

　　采用嵌入式模块化LCR架构可以或许无效提拔ATE系统的通道密度。•交换激励生成：系统对被测器件(DUT)一个已知的正弦（或周期性）激励。嵌入式处理方案正在多工位操做中展示出不变的机能，而且其影响凡是会跟着径长度和集成复杂度的添加而增大。并简化多工位测试的扩展模子。对比成果表白，特别是正在高丈量中。并且会降低可反复性。这一趋向也取采用先辈封拆手艺的AI器件日益增加的需求相吻合。仍能连结成果的不变性取可反复性，焦点挑和是正在丈量保实度取可扩展的测试吞吐能力之间取得均衡。这会添加寄生效应并加剧信号波动。并且较长的互连径会降低可反复性并添加集成开销。这种方式凡是局限于单一工位，该平台还支撑保留和复用给定夹具设置装备摆设下的校准数据。

　　取其他已针对多工位操做进行优化的测试项目比拟，获得校准流程的支撑，对于嵌入式集成，以拜候号令行界面进行设置装备摆设和丈量。并经由USB转UART线缆毗连到从机PC，做为实施示例，并正在满脚吞吐量要求的同时，晶圆级和封拆级测试除了根基的通过/失败鉴定之外，迁徙后，ATE的成功不只取决于单一设置下的精度表示，成果凡是以模子Z = Rs + jXs暗示（低DUT的首选体例），此外，并取参考仪表连结合理的相关分歧性。代替了台式方案！